From global and local Ge integration approaches on Si(001): Novel insights by advanced synchrotron-based scanning XRD - Aix-Marseille Université Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

From global and local Ge integration approaches on Si(001): Novel insights by advanced synchrotron-based scanning XRD

M. H. Zoellner
  • Fonction : Auteur
G. Chahine
  • Fonction : Auteur
M.I. Richard
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
CV
P. Zaumseil
  • Fonction : Auteur
C. Reich
  • Fonction : Auteur
M. Häberlen
  • Fonction : Auteur
G. Capellini
  • Fonction : Auteur
F. Montalenti
  • Fonction : Auteur
A. Marzegalli
  • Fonction : Auteur
P. Storck
  • Fonction : Auteur
T. U. Schülli
  • Fonction : Auteur
T. Schroeder
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://amu.hal.science/hal-01453093

Soumis le : jeudi 2 février 2017-15:32:47

Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01453093 , version 1 (02-02-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01453093 , version 1

Citer

M. H. Zoellner, G. Chahine, M.I. Richard, P. Zaumseil, C. Reich, et al.. From global and local Ge integration approaches on Si(001): Novel insights by advanced synchrotron-based scanning XRD. 13th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP2016), Sep 2016, Brno, Czech Republic. ⟨hal-01453093⟩

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