Structure et propagation de défauts dans les nanopiliers de silicium

A. Merabet , M. Texier (1) , C. Tromas (2) , M. Verdier , A. Talneau , N. Burle (1) , O. Thomas (1) , J. Godet (2)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 PPrime [Poitiers] - Institut Pprime [UPR 3346]

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

A. Merabet, M. Texier, C. Tromas, M. Verdier, A. Talneau, et al.. Structure et propagation de défauts dans les nanopiliers de silicium. Congrés de l’Association Française de Cristallographie, Jul 2016, Marseille, France. ⟨hal-01453348⟩