New strategies for producing strain engineered SiGe nanomembranes - Aix-Marseille Université Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

New strategies for producing strain engineered SiGe nanomembranes

T. David
Abdelmalek Benkouider
  • Fonction : Auteur
L. Kailang
  • Fonction : Auteur
J.N. Aqua
  • Fonction : Auteur
A. Rond
  • Fonction : Auteur
Luc Favre
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
CV
Marco Abbarchi
M. Naffouti
  • Fonction : Auteur
S. Fernandez
  • Fonction : Auteur
M.I. Richard
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
CV
O. Thomas
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Isabelle Berbezier
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://amu.hal.science/hal-01454799

Soumis le : vendredi 3 février 2017-09:23:25

Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01454799 , version 1 (03-02-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01454799 , version 1

Citer

T. David, Abdelmalek Benkouider, L. Kailang, J.N. Aqua, A. Rond, et al.. New strategies for producing strain engineered SiGe nanomembranes. Journées Surfaces Interfaces, Jan 2016, Marseille, France. ⟨hal-01454799⟩

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