Potentiality of Healing Techniques in Hot-Carrier Damaged 28nm FDSOI CMOS nodes - Aix-Marseille Université Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Potentiality of Healing Techniques in Hot-Carrier Damaged 28nm FDSOI CMOS nodes

A. Bravaix
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
F. Cacho
  • Fonction : Auteur
X. Federspiel
  • Fonction : Auteur
C. Ndiaye
  • Fonction : Auteur
S. Mhira
  • Fonction : Auteur
V. Huard
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://amu.hal.science/hal-01463147

Soumis le : jeudi 9 février 2017-14:04:33

Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01463147 , version 1 (09-02-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01463147 , version 1

Citer

A. Bravaix, F. Cacho, X. Federspiel, C. Ndiaye, S. Mhira, et al.. Potentiality of Healing Techniques in Hot-Carrier Damaged 28nm FDSOI CMOS nodes. 27th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF 2016), Sep 2016, Halle, Germany. ⟨hal-01463147⟩

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