Virtual metrology on chemical mechanical planarization process based on Just-in-time learning
Résumé
no abstract
Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
William Domingues Vinhas : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-01490124
Soumis le : mardi 14 mars 2017-22:24:14
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01490124 , version 1
Citer
Mohamed Ali Jebri, Guillaume Graton, El Mostafa El Adel, Mustapha Ouladsine, Jacques Pinaton. Virtual metrology on chemical mechanical planarization process based on Just-in-time learning. International Conference on Systems and Control, ICSC'2016, 2016, Marrakech, Unknown Region. ⟨hal-01490124⟩
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