Run To Run control based on categorical output in semiconductor manufacturing
Résumé
no abstract
Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
William Domingues Vinhas : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-01490125
Soumis le : mardi 14 mars 2017-22:24:15
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01490125 , version 1
Citer
El Mostafa El Adel, Guillaume Graton, Mustapha Ouladsine, Jacques Pinaton. Run To Run control based on categorical output in semiconductor manufacturing. International Conference on Systems and Control, ICSC'2016, 2016, Marrakech, Unknown Region. ⟨hal-01490125⟩
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