Virtual Metrology on Semiconductor Manufacturing Based on Just-In-Time Learning
Résumé
no abstract
Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
William Domingues Vinhas : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-01490128
Soumis le : mardi 14 mars 2017-22:24:19
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01490128 , version 1
Citer
Mohamed Ali Jebri, Guillaume Graton, El Mostafa El Adel, Mustapha Ouladsine, Jacques Pinaton. Virtual Metrology on Semiconductor Manufacturing Based on Just-In-Time Learning. 8th IFAC Conference on Manufacturing Modelling, Management and Control, 2016, Troyes, Unknown Region. ⟨hal-01490128⟩
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