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Conference papers

Imagerie HRTEM de défauts dans les nanopiliers de silicium déformés à basse température

A. Merabet 1 
1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Document type :
Conference papers
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https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-01763109
Contributor : IM2NP Bibliométrie Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, April 10, 2018 - 5:15:01 PM
Last modification on : Wednesday, November 3, 2021 - 7:27:43 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01763109, version 1

Collections

UNIV-TLN | CNRS | UNIV-AMU | IM2NP

Citation

A. Merabet. Imagerie HRTEM de défauts dans les nanopiliers de silicium déformés à basse température. Société française de microscopie 2017, Jul 2017, Bordeaux, France. ⟨hal-01763109⟩

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