Ozone flexible sensors fabricated by photolithography and laser ablation processes based on ZnO nanoparticles

Monica Acuautla; S. Bernardini; L. Gallais; T. Fiorido; L. Patout; Marc Bendahan

doi:10.1016/j.snb.2014.07.010

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Ozone flexible sensors fabricated by photolithography and laser ablation processes based on ZnO nanoparticles

Monica Acuautla ¹ S. Bernardini ¹ L. Gallais ² T. Fiorido ¹ L. Patout ¹ Marc Bendahan ³

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

2 ILM - ILM

FRESNEL - Institut FRESNEL

3 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence

Monica Acuautla ¹ AuthorId : 1667122
Author

S. Bernardini ¹ AuthorId : 11324655
Author IdHAL : sandrine-bernardini ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/D-3185-2012 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9673-222X

L. Gallais ² AuthorId : 1246229
Author

T. Fiorido ¹ AuthorId : 532223
Author

L. Patout ¹ AuthorId : 309554
Author

Marc Bendahan ³ AuthorId : 779265
Author IdHAL : marc-bendahan ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/B-3157-2010

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (Faculté des Sciences Avenue Escadrille Normandie Niemen Case 142 13397 Marseille Cedex 20 - France) StructId : 199957

UTLN - Université de Toulon : UMR7334 /UMR6242 (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7334 /UMR6242 (France) StructId : 441569
AMU - Aix Marseille Université : UMR7334 /UMR6242 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France) StructId : 198056

2 ILM - ILM (France) StructId : 396811

FRESNEL - Institut FRESNEL (Faculté des Sciences et Techniques avenue Escadrille Normandie Niemen 13 397 Marseille cedex 20 - France) StructId : 199338
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7249/ UMR 6133 (France) StructId : 441569
- ECM - École Centrale de Marseille (Pôle de l'étoile - Technopole de Château-Gombert - 38 rue Frédéric Joliot-Curie - 13013 Marseille - France) StructId : 300415
- AMU - Aix Marseille Université : UMR7249/ UMR 6133 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France) StructId : 198056

3 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence (Case 142 Av. Escadrille Normandie-Niemen 13397 MARSEILLE CEDEX 20 - France) StructId : 845

Université Paul Cézanne - Aix-Marseille 3 (3, avenue Robert Schumann - 13628 Aix-en-Provence cedex 1 - France) StructId : 27501
Université de Provence - Aix-Marseille 1 (3, place Victor Hugo - 13331 Marseille Cedex 03 - France) StructId : 92823
UTLN - Université de Toulon (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6137 (France) StructId : 441569

Document type :

Journal articles

Domain :

Chemical Sciences

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https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-01790092
Contributor : Loïc Patout Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, May 11, 2018 - 4:21:22 PM
Last modification on : Tuesday, October 19, 2021 - 11:00:01 PM

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HAL Id : hal-01790092, version 1
DOI : 10.1016/j.snb.2014.07.010

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Monica Acuautla, S. Bernardini, L. Gallais, T. Fiorido, L. Patout, et al.. Ozone flexible sensors fabricated by photolithography and laser ablation processes based on ZnO nanoparticles. Sensors and Actuators B: Chemical, Elsevier, 2014, 203, pp.602 - 611. ⟨10.1016/j.snb.2014.07.010⟩. ⟨hal-01790092⟩

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