A Bayesian indicator for Run-to-Run performance assessment in semiconductor manufacturing

Taki Eddine Korabi 1, 2, 3 Guillaume Graton 1 El Mostafa El Adel 1 Mustapha Ouladsine 1 Jacques Pinaton 2
1 PECASE - Pronostic/Diagnostic Et CommAnde : Santé et Energie
LIS - Laboratoire d'Informatique et Systèmes
2 ST-ROUSSET - STMicroelectronics [Rousset]
3 LVR - Laboratoire Vision et Robotique
Type de document :
Communication dans un congrès
2018 14th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME), Jul 2018, Prague, France. IEEE, 〈10.1109/PRIME.2018.8430365〉
Liste complète des métadonnées
https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-01893409
Contributeur : Taki Eddine Korabi <>
Soumis le : jeudi 11 octobre 2018 - 13:43:25
Dernière modification le : vendredi 12 octobre 2018 - 01:18:52

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Citation

Taki Eddine Korabi, Guillaume Graton, El Mostafa El Adel, Mustapha Ouladsine, Jacques Pinaton. A Bayesian indicator for Run-to-Run performance assessment in semiconductor manufacturing. 2018 14th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME), Jul 2018, Prague, France. IEEE, 〈10.1109/PRIME.2018.8430365〉. 〈hal-01893409〉

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