Atomic structures of Si() surface during silane UHV-CVD - Aix-Marseille Université Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface Science : A Journal Devoted to the Physics and Chemistry of Interfaces Année : 2002

Atomic structures of Si() surface during silane UHV-CVD

L. Masson
CV
F. Thibaudau
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Laurence MASSON  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://amu.hal.science/hal-01969091

Soumis le : jeudi 3 janvier 2019-16:28:29

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Dates et versions

hal-01969091 , version 1 (03-01-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01969091 , version 1

Citer

L. Masson, F. Thibaudau. Atomic structures of Si() surface during silane UHV-CVD. Surface Science : A Journal Devoted to the Physics and Chemistry of Interfaces, 2002, 504, pp.191-198. ⟨hal-01969091⟩

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