Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2010
Christophe Girardeaux : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-02044923
Soumis le : jeudi 21 février 2019-16:57:10
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02044923 , version 1
Citer
N. Rodriguez, A. Portavoce, J. Delalleau, C. Grosjean, V. Serradeil, et al.. Arsenic and phosphorus codiffusion during silicon microelectronic processes. Thin Solid Films, 2010, 518 (17), pp.5022-5027. ⟨hal-02044923⟩
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