Article Dans Une Revue
Microelectronics Reliability
Année : 2007
Alain Portavoce : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-02386183
Soumis le : vendredi 29 novembre 2019-11:13:42
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02386183 , version 1
- DOI : 10.1016/j.microrel.2007.07.091
Citer
J. Adrian, N. Rodriguez, F. Essely, G. Haller, C. Grosjean, et al.. Investigation of a new method for dopant characterization. Microelectronics Reliability, 2007, 47 (9-11), pp.1599-1603. ⟨10.1016/j.microrel.2007.07.091⟩. ⟨hal-02386183⟩
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