Article Dans Une Revue
Microelectronics Reliability
Année : 2006
Christophe Girardeaux : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-02044996
Soumis le : jeudi 21 février 2019-17:13:36
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02044996 , version 1
Citer
N. Rodriguez, J. Adrian, C. Grosjean, G. Haller, Christophe Girardeaux, et al.. Evaluation of scanning capacitance microscopy sample preparation by focused ion beam. Microelectronics Reliability, 2006, 46 (9-11), pp.1554-1557. ⟨hal-02044996⟩
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