Sb Diffusion and Segregation in Amorphous Si Thin Films - Aix-Marseille Université Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Defect and Diffusion Forum Année : 2005

Sb Diffusion and Segregation in Amorphous Si Thin Films

G. Lanza
  • Fonction : Auteur
J. Nyéki
  • Fonction : Auteur
Christophe Girardeaux
Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Z. Erdélyi
  • Fonction : Auteur
A. Csik
  • Fonction : Auteur
Institute for Nuclear Research [Budapest]
Lajos Daróczi
  • Fonction : Auteur
G. Langer
  • Fonction : Auteur
Dezső Beke
  • Fonction : Auteur
Andree Rolland
  • Fonction : Auteur
Jean Bernardini
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 856690
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
G. Erdélyi
  • Fonction : Auteur

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Christophe Girardeaux  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://amu.hal.science/hal-02045010

Soumis le : jeudi 21 février 2019-17:22:04

Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02045010 , version 1 (21-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02045010 , version 1

Citer

G. Lanza, J. Nyéki, Christophe Girardeaux, Z. Erdélyi, A. Csik, et al.. Sb Diffusion and Segregation in Amorphous Si Thin Films. Defect and Diffusion Forum, 2005, 237-240, pp.1246-1251. ⟨hal-02045010⟩

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