, J. Appl. Phys, vol.39, p.5232, 1968.
, Phys. Rev. Lett, vol.34, p.1548, 1975.
, Rev. Sci. Instrum, vol.54, p.309, 1983.
, J. Appl. Phys, vol.80, p.3196, 1996.
, Rev. Sci. Instrum, vol.72, p.898, 2001.
, Rev. Sci. Instrum, vol.75, p.4103, 2004.
, Phys. Rev. Lett, vol.81, p.4592, 1998.
, Phys. Plasmas, vol.25, p.55707, 2018.
, Phys. Plasmas, vol.1, p.3814, 1994.
, Rev. Sci. Instrum, vol.72, p.4372, 2001.
, Phys. Plasmas, vol.19, p.32108, 2012.
, Phys. Rev. A, vol.39, p.69, 1989.
, Appl. Phys. Lett, vol.66, p.1059, 1995.
, Phys. Plasmas, vol.25, p.33501, 2018.
, Ann. Rev. Phys. Chem, vol.35, p.265, 1984.
, J. Vac. Sci. Technol. A, vol.7, p.977, 1989.
, Rev. Sci. Instrum, vol.64, p.996, 1993.
, Phys. Plasmas, vol.25, p.13506, 2018.
, Phys. Plasmas, vol.13, p.62103, 2006.
, Plasma Sources Sci. Technol, vol.20, p.25013, 2011.
, Phys. Plasmas, vol.22, p.43505, 2015.
, Phys. Plasmas, vol.23, p.113503, 2016.
, J. Appl. Phys, vol.96, p.4762, 2004.
, Phys. Plasmas, vol.23, p.50703, 2016.
, Phys. Rev. Lett, vol.104, p.225003, 2010.
, Phys. Plasmas, vol.8, p.1729, 2001.
, Plasma Sources Sci. Technol, vol.14, p.201, 2005.
, Phys. Plasmas, vol.20, p.83506, 2013.
, J. Phys. D: Appl. Phys, vol.39, p.5230, 2006.
, Phys. Rev. Lett, vol.100, p.175004, 2008.
, Phys. Rev. Lett, vol.105, p.75001, 2010.
, Phys. Fluids B: Plasma Phys, vol.4, p.1663, 1992.
, Rev. Sci. Instrum, vol.67, p.4124, 1996.
, J. Phys. D: Appl. Phys, vol.32, p.671, 1999.
, Plasma Phys, vol.9, p.85, 1967.
, Phys. Rev. Lett, vol.108, p.235001, 2012.
, Modern Optical Engineering, 2007.
, Phys. Fluids, vol.23, p.803, 1980.