Journal articles
Investigation of a new method for dopant characterization
J. Adrian
1
N. Rodriguez
2, 1, 3
F. Essely
4
G. Haller
1
C. Grosjean
1
A. Portavoce
3
Christophe Girardeaux
3
C. Grosjean 1
Author
A. Portavoce 3
Author
Christophe Girardeaux 3
Author IdHAL : christophe-girardeaux ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7159-3785
1
ST-ROUSSET - STMicroelectronics [Rousset] (ZI de Peynier Rousset, avenue Celestin Coq - 13790 Rousset - France)
2
University of Granada [Granada] (Avda. del Hospicio, s/n C.P. 18071 Granada - Spain)
3
L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence (Case 142 Av. Escadrille Normandie-Niemen 13397 MARSEILLE CEDEX 20 - France)
- Université Paul Cézanne - Aix-Marseille 3 (3, avenue Robert Schumann - 13628 Aix-en-Provence cedex 1 - France)
- Université de Provence - Aix-Marseille 1 (3, place Victor Hugo - 13331 Marseille Cedex 03 - France)
- UTLN - Université de Toulon (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6137 (France)
4
IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (33405 TALENCE CEDEX - France)
- Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (351 cours de la Libération - 33405 Talence cedex - France)
- Institut Polytechnique de Bordeaux (146, rue Léo Saignat, 33076 Bordeaux - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5218 (France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-02386183
Contributor : Alain Portavoce Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, November 29, 2019 - 11:13:42 AM
Last modification on : Thursday, March 24, 2022 - 3:10:59 AM
Contributor : Alain Portavoce Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, November 29, 2019 - 11:13:42 AM
Last modification on : Thursday, March 24, 2022 - 3:10:59 AM
Links full text
Identifiers
- HAL Id : hal-02386183, version 1
- DOI : 10.1016/j.microrel.2007.07.091
Collections
Citation
J. Adrian, N. Rodriguez, F. Essely, G. Haller, C. Grosjean, et al.. Investigation of a new method for dopant characterization. Microelectronics Reliability, Elsevier, 2007, 47 (9-11), pp.1599-1603. ⟨10.1016/j.microrel.2007.07.091⟩. ⟨hal-02386183⟩
Metrics
Record views