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Journal articles

Morphological evolution of SiGe layers

I. Berbezier 1 A. Ronda 2 F. Volpi 3 A. Portavoce 1
1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence
3 SIMaP [2007-2015] - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés [2007-2015]
Document type :
Journal articles
Complete list of metadatas
https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-02386300
Contributor : Alain Portavoce <>
Submitted on : Friday, November 29, 2019 - 11:41:00 AM
Last modification on : Friday, July 17, 2020 - 9:28:10 AM

Identifiers

Collections

UNIV-AMU | UGA | SIMAP | IM2NP | INC-CNRS | UNIV-TLN | CNRS

Citation

I. Berbezier, A. Ronda, F. Volpi, A. Portavoce. Morphological evolution of SiGe layers. Surface Science, Elsevier, 2003, 531 (3), pp.231-243. ⟨10.1016/S0039-6028(03)00488-6⟩. ⟨hal-02386300⟩

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