Morphological evolution of SiGe layers

I. Berbezier; A. Ronda; F. Volpi; A. Portavoce

doi:10.1016/S0039-6028(03)00488-6

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Morphological evolution of SiGe layers

I. Berbezier ¹ A. Ronda ² F. Volpi ³ A. Portavoce ¹

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

2 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence

3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

I. Berbezier ¹
Author

A. Ronda ²
Author

F. Volpi ³
Author
PersonId : 757887ORCID : 0000-0003-0039-5877IdRef : 071086455

A. Portavoce ¹
Author
PersonId : 864373

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (Faculté des Sciences Avenue Escadrille Normandie Niemen Case 142 13397 Marseille Cedex 20 - France) StructId : 199957

AMU - Aix Marseille Université : UMR7334 /UMR6242 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France) StructId : 198056
UTLN - Université de Toulon : UMR7334 /UMR6242 (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7334 /UMR6242 (France) StructId : 441569

2 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence (Case 142 Av. Escadrille Normandie-Niemen 13397 MARSEILLE CEDEX 20 - France) StructId : 845

Université Paul Cézanne - Aix-Marseille 3 (3, avenue Robert Schumann - 13628 Aix-en-Provence cedex 1 - France) StructId : 27501
Université de Provence - Aix-Marseille 1 (3, place Victor Hugo - 13331 Marseille Cedex 03 - France) StructId : 92823
UTLN - Université de Toulon (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6137 (France) StructId : 441569

3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (1130 rue de la Piscine, BP 75 38402 Saint Martin D'Hères - France) StructId : 32956

UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 89889
INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 300275
INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5266 (France) StructId : 441569

Document type :

Journal articles

Domain :

Physics [physics] / Condensed Matter [cond-mat] / Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

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https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-02386300
Contributor : Alain Portavoce Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, November 29, 2019 - 11:41:00 AM
Last modification on : Tuesday, December 7, 2021 - 2:08:08 PM

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HAL Id : hal-02386300, version 1
DOI : 10.1016/S0039-6028(03)00488-6

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I. Berbezier, A. Ronda, F. Volpi, A. Portavoce. Morphological evolution of SiGe layers. Surface Science, Elsevier, 2003, 531 (3), pp.231-243. ⟨10.1016/S0039-6028(03)00488-6⟩. ⟨hal-02386300⟩

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