B. Yan, G. Yue, J. M. Owens, J. Yang, and S. Guha, Appl. Phys. Lett, vol.85, p.1925, 2004.

T. Ito, H. Fukushima, and M. Yamaguchi, Jap. J. Appl. Phys, vol.42, p.1526, 2003.

R. Bouchakour, V. Bidal, P. Candelier, R. Fournel, P. Gendrier et al., patent EP1768189-A1, FR2891398-A1 and US2007069278-A1, 2007.

J. S. Williams and R. G. Elliman, Phys. Rev. Lett, vol.51, p.1069, 1983.

G. L. Olson and J. A. Roth, Mat. Sci. Rep, vol.3, p.1, 1988.

N. G. Rudawski, K. S. Jones, and R. Gwilliam, Phys. Rev. Lett, vol.100, p.165501, 2008.

D. Angelo, L. Romano, I. Crupi, E. Carria, V. Privitera et al., Appl. Phys. Lett, vol.93, p.231901, 2008.

W. Barvosa-carter, M. J. Aziz, A. Phan, T. Kaplan, and L. J. Gray, J . Appl. Phys, vol.96, p.5462, 2004.

B. J. Pawlak, R. Duffy, T. Janssens, W. Vandervorst, K. Maex et al., Appl. Phys. Lett, vol.87, p.31915, 2005.

B. C. Johnson and J. C. Mccallum, Phys. Rev. B, vol.76, p.45216, 2007.

J. C. Mccallum, Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B, vol.148, p.350, 1999.

M. Aboy, L. Pelaz, P. López, E. Bruno, S. Mirabella et al., Napolitani: Mat. Sci. Eng. B, p.247, 2008.

M. Aboy, L. Pelaz, P. López, L. A. Marqués, R. Duffy et al., Apply. Phys. Lett, vol.88, p.191917, 2006.

D. V. Ragone, Thermodynamics of Materials, volume, vol.2, 1995.

J. Farjas, C. Rath, P. Roura, P. Roca, and . Cabarrocas, App. Surf. Sci, vol.238, p.165, 2004.

R. Bisaro, J. Margariño, K. Zellama, S. Squelard, P. Germain et al., Phys. Rev. B, vol.31, p.3568, 1985.

J. R. Carlson, J. Sundgren, L. D. Madsen, X. Li, and H. T. Hentzell, Thin Solid Films, vol.300, p.51, 1997.

C. Spinella, S. Lombardo, and F. Priolo, J. Appl. Phys, vol.84, p.5383, 1998.

A. Portavoce, R. Simola, D. Mangelinck, J. Bernardini, and P. Fornara, Diffusion and Defect Data, vol.264, p.33, 2007.

R. Duffy, V. C. Venezia, A. Heringa, B. J. Pawlak, M. J. Hopstaken et al., Appl. Phys. Lett, vol.84, p.4283, 2004.

, Binary Alloy Phase Diagrams, 1996.

P. Pichler, Intrinsic Point Defects, Impurities, and Their Diffusion in Silicon, 2004.

J. C. Fisher, J. Appl. Phys, vol.22, p.74, 1951.

Y. Mishin, C. Herzig, J. Bernardini, and W. , Gust: International Mat. Rev, vol.42, p.155, 1997.

K. Sakamoto, K. Nishi, T. Yamaji, T. Miyoshi, and S. Ushio, J. Electrochem. Soc, vol.132, p.2457, 1985.

B. Yan, G. Yue, J. M. Owens, J. Yang, and S. Guha, Appl. Phys. Lett, vol.85, p.1925, 2004.

T. Ito, H. Fukushima, and M. Yamaguchi, Jap. J. Appl. Phys, vol.42, p.1526, 2003.

R. Bouchakour, V. Bidal, P. Candelier, R. Fournel, P. Gendrier et al., patent EP1768189-A1, FR2891398-A1 and US2007069278-A1, 2007.

J. S. Williams and R. G. Elliman, Phys. Rev. Lett, vol.51, p.1069, 1983.

G. L. Olson and J. A. Roth, Mat. Sci. Rep, vol.3, p.1, 1988.

N. G. Rudawski, K. S. Jones, and R. Gwilliam, Phys. Rev. Lett, vol.100, p.165501, 2008.

D. Angelo, L. Romano, I. Crupi, E. Carria, V. Privitera et al., Appl. Phys. Lett, vol.93, p.231901, 2008.

W. Barvosa-carter, M. J. Aziz, A. Phan, T. Kaplan, and L. J. Gray, J . Appl. Phys, vol.96, p.5462, 2004.

B. J. Pawlak, R. Duffy, T. Janssens, W. Vandervorst, K. Maex et al., Appl. Phys. Lett, vol.87, p.31915, 2005.

B. C. Johnson and J. C. Mccallum, Phys. Rev. B, vol.76, p.45216, 2007.

J. C. Mccallum, ;. Aboy, L. Pelaz, P. López, E. Bruno et al., Thermodynamics of Materials, volume, vol.148, p.191917, 1995.

J. Farjas, C. Rath, P. Roura, P. Roca, and . Cabarrocas, App. Surf. Sci, vol.238, p.165, 2004.

R. Bisaro, J. Margariño, K. Zellama, S. Squelard, P. Germain et al., Phys. Rev. B, vol.31, p.3568, 1985.

J. R. Carlson, J. Sundgren, L. D. Madsen, X. Li, and H. T. Hentzell, Thin Solid Films, vol.300, p.51, 1997.

C. Spinella, S. Lombardo, and F. Priolo, J. Appl. Phys, vol.84, p.5383, 1998.

A. Portavoce, R. Simola, D. Mangelinck, J. Bernardini, and P. Fornara, Diffusion and Defect Data, vol.264, p.33, 2007.

R. Duffy, V. C. Venezia, A. Heringa, B. J. Pawlak, M. J. Hopstaken et al., Appl. Phys. Lett, vol.84, p.4283, 2004.

, Binary Alloy Phase Diagrams, 1996.

P. Pichler, Intrinsic Point Defects, Impurities, and Their Diffusion in Silicon, 2004.

J. C. Fisher, J. Appl. Phys, vol.22, p.74, 1951.

Y. Mishin, C. Herzig, J. Bernardini, and W. , Gust: International Mat. Rev, vol.42, p.155, 1997.

K. Sakamoto, K. Nishi, T. Yamaji, T. Miyoshi, and S. Ushio, J. Electrochem. Soc, vol.132, p.2457, 1985.