Black silicon (BS) using room-temperature reactive ion etching (RT-RIE) for interdigitated back contact (IBC) silicon solar cells

Francois Atteia , Judikaël Le Rouzo (1) , Gérard Berginc (2) , Jean-Jacques Simon (1) , Ludovic Escoubas (1)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 Thalès Optronique

Domaines: Optique / photonique; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Matériaux

Francois Atteia, Judikaël Le Rouzo, Gérard Berginc, Jean-Jacques Simon, Ludovic Escoubas. Black silicon (BS) using room-temperature reactive ion etching (RT-RIE) for interdigitated back contact (IBC) silicon solar cells. Physics, Simulation, and Photonic Engineering of Photovoltaic Devices VIII, Feb 2019, San Francisco, France. pp.29, ⟨10.1117/12.2509326⟩. ⟨hal-02450871⟩