Direct preparation of crystalline CuInS2 thin films by radiofrequency sputtering

R. Cayzac (1) , F. Boulc’h , Marc Bendahan (2) , P. Lauque , P. Knauth (3)

1 Nexter Munitions
2 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
3 MADIREL - Matériaux divisés, interfaces, réactivité, électrochimie

Domaines: Génie des procédés; Matériaux

R. Cayzac, F. Boulc’h, Marc Bendahan, P. Lauque, P. Knauth. Direct preparation of crystalline CuInS2 thin films by radiofrequency sputtering. Materials Science and Engineering: B, 2009, 157 (1-3), pp.66-71. ⟨10.1016/j.mseb.2008.12.018⟩. ⟨hal-02867390⟩