The polyimide (PMDA-ODA) titanium interface. Part 2. XPS study of polyimide treatments and ageing

Christophe Girardeaux; Evelyne Druet; Philippe Demoncy; Michel Delamar

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The polyimide (PMDA-ODA) titanium interface. Part 2. XPS study of polyimide treatments and ageing

Christophe Girardeaux ^{1, 2} Evelyne Druet Philippe Demoncy Michel Delamar ³

1 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence

2 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

3 ITODYS (UMR_7086) - Interfaces, Traitements, Organisation et Dynamique des Systèmes

Christophe Girardeaux ^{1, 2} AuthorId : 11118173

Author IdHAL : christophe-girardeaux ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7159-3785

Evelyne Druet AuthorId : 11194320
Author

Philippe Demoncy AuthorId : 11194321
Author

Michel Delamar ³ AuthorId : 189603
Author

1 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence (Case 142 Av. Escadrille Normandie-Niemen 13397 MARSEILLE CEDEX 20 - France) StructId : 845

Université Paul Cézanne - Aix-Marseille 3 (3, avenue Robert Schumann - 13628 Aix-en-Provence cedex 1 - France) StructId : 27501
Université de Provence - Aix-Marseille 1 (3, place Victor Hugo - 13331 Marseille Cedex 03 - France) StructId : 92823
UTLN - Université de Toulon (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6137 (France) StructId : 441569

2 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (Faculté des Sciences Avenue Escadrille Normandie Niemen Case 142 13397 Marseille Cedex 20 - France) StructId : 199957

UTLN - Université de Toulon : UMR7334 /UMR6242 (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7334 /UMR6242 (France) StructId : 441569
AMU - Aix Marseille Université : UMR7334 /UMR6242 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France) StructId : 198056

3 ITODYS (UMR_7086) - Interfaces, Traitements, Organisation et Dynamique des Systèmes (Université Paris Diderot, Bâtiment Lavoisier, 15 rue Jean de Baïf, case postale 7090, 75205 Paris Cedex 13 - France) StructId : 1030

UPD7 - Université Paris Diderot - Paris 7 : UMR_7086 (5 rue Thomas-Mann - 75205 Paris cedex 13 - France) StructId : 300301
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR_7086 (France) StructId : 441569

Document type :

Journal articles

Domain :

Chemical Sciences / Material chemistry

Complete list of metadata

https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-02045088
Contributor : Christophe Girardeaux <>
Submitted on : Thursday, February 21, 2019 - 6:02:57 PM
Last modification on : Tuesday, March 30, 2021 - 3:23:28 AM

Identifiers

HAL Id : hal-02045088, version 1

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Christophe Girardeaux, Evelyne Druet, Philippe Demoncy, Michel Delamar. The polyimide (PMDA-ODA) titanium interface. Part 2. XPS study of polyimide treatments and ageing. Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, Elsevier, 1995, 74 (1), pp.57-66. ⟨hal-02045088⟩

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