Effect of total pressure on the formation and size evolution of silicon quantum dots in silicon nitride films - Aix-Marseille Université Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2010

Effect of total pressure on the formation and size evolution of silicon quantum dots in silicon nitride films

B. Rezgui
  • Fonction : Auteur
A. Sibai
  • Fonction : Auteur
T. Nychyporuk
M. Lemiti
  • Fonction : Auteur
G. Bremond
  • Fonction : Auteur
D. Maestre
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-03350227 , version 1 (21-09-2021)

Identifiants

Citer

B. Rezgui, A. Sibai, T. Nychyporuk, M. Lemiti, G. Bremond, et al.. Effect of total pressure on the formation and size evolution of silicon quantum dots in silicon nitride films. Applied Physics Letters, 2010, 96 (18), pp.183105. ⟨10.1063/1.3427386⟩. ⟨hal-03350227⟩
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