Structure et propagation de défauts dans les nanopiliers de silicium

A. Merabet , M. Texier (1) , C. Tromas (2) , M. Verdier , A. Talneau , N. Burle (1) , O. Thomas (1) , J. Godet (2)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 PPRIME - Institut Pprime

Domains: Engineering Sciences [physics]; Micro and nanotechnologies/Microelectronics

A. Merabet, M. Texier, C. Tromas, M. Verdier, A. Talneau, et al.. Structure et propagation de défauts dans les nanopiliers de silicium. Congrés de l’Association Française de Cristallographie, Jul 2016, Marseille, France. ⟨hal-01453348⟩