AES measurements of Sb mass transport in amorphous Si thin films

J. Nyéki , Christophe Girardeaux (1, 2) , A. Rolland (2) , J. Bernardini (2)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

J. Nyéki, Christophe Girardeaux, A. Rolland, J. Bernardini. AES measurements of Sb mass transport in amorphous Si thin films. Journal de Physique IV Proceedings, 2006, 132, pp.255-258. ⟨hal-02045004⟩