Subnanometric Si film reactive diffusion on Ni

A. Portavoce (1) , B. Lalmi (2) , G. Tréglia (3) , C. Girardeaux , D. Mangelinck (1) , B. Aufray (3) , J. Bernardini

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 LENAC - Laboratoire d'Electronique, Nanotechnologies, Capteurs
3 CINaM - Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

A. Portavoce, B. Lalmi, G. Tréglia, C. Girardeaux, D. Mangelinck, et al.. Subnanometric Si film reactive diffusion on Ni. Applied Physics Letters, 2009, 95 (2), pp.023111. ⟨10.1063/1.3177187⟩. ⟨hal-02386120⟩